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支持的 EtherCAT 节点
MCP-50 Mass Flow Controller
在化学、医疗、制造和电力行业,Alicat 仪器可以快速、精确地监测和控制关键过程参数。Alicat 设备的速度和可靠性特别适合 真空镀膜工艺,例如原子层沉积和化学气相沉积。所有质量流量或压力控制器的数据,包括:质量流量、体积流量、压力、温度、选定的气体校准、设定值和总流量,都可以输出到运行兼容自动化协议的中央 PLC。用户还可以更改设定值或气体选择,并远程发出其他命令。
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